豊橋技術科学大、半導体施設を民間企業に開放 国内大学唯一の一貫製造、規模拡大 – 中日新聞

         

施設は「次世代半導体・センサ科学研究所」（通称・アイリス）。既存の3棟に加え、半導体製造に欠かせないクリーンルームを約2千平方メートル備えた「LSI（高密度

施設は「次世代半導体・センサ科学研究所」（通称・アイリス）。既存の3棟に加え、半導体製造に欠かせないクリーンルームを約2千平方メートル備えた「LSI（高密度 ...続きを確認する

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